- Төгсөгч
- Хүсэлт
- Холбоотой бүтээгдэхүүнүүд
- Үйлдвэрлэх хамгаалтын эргийн 10мм-ийн дунд түүнийг хадгалж, өмнөх цонх нь урт өндөртэй хамгаалалттай гараар байгуулж байна
- Хэрэв ашигладаг бол тодорхой шатны давхарга (-12mbar-аас 12mbar хүртэл) хадгалах боломжтой
- Хавтаас нь хүчирхэгийн заалт, өндөр тусгаарлагдсан материалуудын дагуу бэлтгэгдсэн бөгөөд эдгээр нь зогсоо шинжилгээний аргаар том хэмжээний заалт, өвчтөнөөс сэргийлдэг
- Хавтаасын дотор нь нэг ганц өнгөрөөсөө бүрдсэн албан ёсны цахилгааны гаргалтын дугуй (цахилгаан: 220V ± 10% 50Hz ± 10%) өмнө нь суулгасан
- Хавтаасын хойд хэсгээр 5 стандарт KF-40 гарgalтууд нь цэвэрлэгчид, газ, сигналуудад холбогдоход зориулж байна
- Хавтаасын дотор нь 2 талбай байршил байрладаг бөгөөд эдгээр нь өндөрөөрөө дээш, доош засварлах функцыг агуулдаг
Химийн хариуцалт, шинжилгээний үр дүнд нягтлан суурь, усанд тусгаарлагддаг бодиснууд байгаа. Эдгээр бодиснуудыг амьдралын орчингөөр хийх боломжгүй байна. Тиймээс ус, суурьгүй инерт газын орчинд хийхээр цогцолбор шинжлэх боксыг зохион бүтээв. Энэ бокс лифийн ион баттери, материал, семикондуктор, филмийн хамгийн эх үүсвэр, нано материалын, катализатор, супер конденсатор, ихэнх лам, лазерийн холих, холитой холих, титанийн хавтаасны холих зэрэгт ашигладаг.
Бусад нэрүүд:
① Цэвэрлэх цикл дахь шинэчлэлтэй зочид систем
② Вакуумын зочид бокс
③ Үнэт зочид бокс
④ Автомат цэвэрлэх зочид бокс
Шинж чанар:
1. ХӨХ БОХИР | |
Хэмжээ : | Ө1220 x Д780 x Өнд900мм |
Материал : | SUS 304, дотоод 3мм |
Зочид хойд хавтан : | φ220мм ,Босоо алтан лигазны материал, уур амьд коррозийн тулд ашиглагдсан |
Гар хүрээ : | Америк болсон PIERCAN; 8 дюйм, 0.4мм толгой нь butyl резин материал |
Цонх : | |
ДЭМЖЛЭГ | Гаргах цорын хувьд 914мм өндөртэй. Цорын функцууд нь тэнцвэрлэх, шилжих, тогтоох боломжийг олгодог |
Хурдан усанд явагддаг хэмжээ: | Инерт атмосферийн хяналттай хавтаасын цагтай усны чимээ ≤ 5X Үр дүнтэй хамгийн их чимээний стандарт ≤ 0.05vol%/h |
2. Хөөрхөн хэсгүүд | |
1)Эзэст нь |
|
Зураг : | Цилиндр (304 тосны нууц арьсын), зүүн хавтгайтай холбогдсон, доторх хөдөлгөөнтэй эсвэл хөдөлгөөнгүй амbynг олоход ашигладаг |
Хэмжээ : | φ360mm*600mm Баруун талын ажиллагаа, газын хөрөнгө орших дарвуулалтын аргаар дарвуулж, дотор нь цуврал байрлуулдаг |
табл : | 230 мм*595мм Зүүн, баруун талд ажилладаг, 361мм-ийн уртанд шилжих боломжтой |
Агуулгын хэмжээ : | ≤-0.1MPa Аялалын нягт Wika Герман улсад үйлдвэрлэсэн |
2)Бага хэсэг |
|
Зураг : | Цилиндрик (304 эрэгтэй нөмрөн шигүү), гарны явахын тоногтой холбогдсон, үүрэгтэй хэрэгцээнд ашигладаг |
Хэмжээ : | φ155мм*320мм ,Гарын дулааныг нэгэн аргаар багасгах |
Агуулгын хэмжээ : | ≤-0.1МПа |
3. Хяналтын систем | |
Арга : | Өөрсдийн шалгалаа, утасны үйлдлийг зогсоох болон өөрсдийн эхлүүлэх чадвартай, дулааныг босгоход холбогдох, адаптив функцуудтай. Автомат контрол, цикл контрол, нууц үгийн хамгаалалт, вакуум камерийн контрол LCD дээр харуулна. Контрол модуль нь Германы SIEMENS татаж авах экран ашигладаг, үйлдэл цэс нь орон нутгийн хэл/Англи хэл дээр сонгож болно |
Нөөцний хяналт: | Явахын тоног, өөрчлөх камерын нөөцөө тодорхой тооцоолоор хянах |
Хөлний цонх: | Явахын тоног, гарны явахын тоногийг хянахад зориулж байна |
4. Зохицуулалтын систем | |
Хоноглолын чадвар: | O2 、H2O<1ppm |
Засварлах төхөөрөмж: | PLC-г татаж авч өөрчлөх (ухамхортой, хоосloh, чистлох, дахин эхлэх) Бүх үйл ажиллагаанд хүний нягтрал хэрэггүй |
Ажилладаг газ: | N2 эсвэл Ar(Газ цуглуулах) |
Цуглуулагч фан: | Германы Elektror-ын импорт хурдан чанартай frequency fan, шугамын хэмжээ 0-80м3/цаг Микропроцессорийн бүтцүүлэгч Давхарга шинжсэн нөмрөн төв |
Нэг хоноглолын бүс: | 5KG Германы BASF дээгүүр хасах материал, 60L-д дээгүүр хасах боломжтой 5KG Америкийн UOP их ашигтай ус хасах материал, 2кг усыг хасах боломжтой |
Шинжилгээний шугам: | Модульч бүтэцтэй, дулааралтай гаднах үйлдлийн шугам |
Филтр: | HEPA стандартад нийцсэн, 0.3 микрон хэмжээтэй цэвэрлэгчийн шугамаар ашиглагддаг их чанартай цэвэрлэгч |
5. Шинэчлэх систем | |
Шошго зохицуулах систем дахь дахин ашиглахад эрчимтэй; Даалгавар нь N2/H2 эсвэл Ar/H2 газын холилдсон байдалд шаардлагатай, H2 нь 5-10% байдаг | |
6. Харах систем | |
Контроль юнит нь Германы SIEMENS зөвлөмжтэй татсан экран ашигладаг, үйлдэл меню нь орос/англи хэлтэй | |
7. Босоо систем | |
Автоматик пневматик электр цонх Вакуум нас Эдвардсын Велик Британийн RV12 вакуум нас ашигладаг. Вакуум ямааны ба хувиргалтын камерыг хоорондоо хэрэглээд, ямар ч үед нь хуваарьлалтанд хүрээнд орж болно (зарим өгөгдөл). | |
8. Ус/хөрш анализатор | |
Усны шинжилгээний бодитой |
|
Зарчим : | 0-1000ppm |
Алдааны хэмжээ : | ±1% ppm |
Байгаль орчны температур : | -10℃ -50℃ |
Дисплей : | PLC |
Литийн эмзгийн үйлдвэрлэгчдэд, метал органик ашиглагчидад зориулагдсан, цоочлоод дахин ашиглах боломжтой, нэг удаагийн загасан алдалтыг хөндлөнө | |
Эрэг бодитой |
|
Зарчим : | 0-1000ppm |
Алдааны хэмжээ : | ±1% ppm |
Байгаль орчны температур : | -10℃ -50℃ |
Дисплей : | PLC |
ZrO2 сенсорын ашиглалт нь бутархайны төмөр дээр хамгийн их үеийн асуудлыг, эсвэл хөдөө агааранд нь зурж болохgui байдлыг шийдэх боломжийг олгодог |