1700℃ CVD Зөвхөн үзэгдлийн цувралын тогтвортой автоматик бодлоготой дулааны цуврал -TF1700 CVD Tube цуврал, China 1700℃ CVD Зөвхөн үзэгдлийн цувралын тогтвортой автоматик бодлоготой дулааны цуврал -TF1700 CVD Tube цуврал Manufacturers, Suppliers, Factory -Nanjing Chishun Technology Development Co.,Ltd.

Тодорхойлолт：

TF1700CVD зөв шинжтэй газын цагаан нь зөв шинжтэй эсвэл хамгаалалтын газанд байрлах урамшуулалын үндсэн зорилгоор зохиогдсон.

Эрдмийн буургын материал болон стабил температур контрол систем нь шинжилгээний мэдээллийн бат төгсгөлд оролцоно.

Бүтээгдэхүүн нь шинэ үеийн керамикийн волокон материалыг ашиглан буургын материал болгон байгуулсан ба буургын тоног нь чухал болно.

Буургын тоногны хоёр тал нь stainlesst steel flanges-тай холбогдоод вакуумд ажилладаг. Flange-д хамгаалтын амьсгал оруулах утсыг байршуулсан бөгөөд precision needle valve нь оролтын замын хурдад тохирох боломжийг олгодог.

Техникийн үзүүлэлтүүд：

Модел.	TF1700-25-17	TF1700-40-17	TF1700-60-17	TF1700-80-17	TF1700-100-17	TF1700-120-17
Төмөрний хэмжээ	φ25 x 900мм	φ40 x 900мм	φ60 x 900мм	φ80 x 900мм	φ100 x 900мм	φ120 x 900мм
Нэгж хэмжээний температуур	1700
Ажлын температур	1600
Цагаан улаан үйлдвэрлэх талбай	300мм
Эрчим хүч	220В/2КВ	220V/3KW	220V/4KW	220V/5KW	220V/5KW	220V/8KW
Үржих элемент	У-хэлбэртэй шил молибденэн гурвалжин
Цагдааны материал	Зөгнөсөн вакуум цуглуулалтын үндэслэлийг ашиглан бэлтгэсэн поликристаллын эргэлзээтэн алуминийн цэвэр материал
Цагаан шилний материал	корундийн цол
Цэвэрлэх дотоод үзүүлэлт	±1℃
Тэмпературыг хэмжих элемент	B төрлийн платина рутенийн температурчлагч
Тохиргооны тоног	Зөвлөмжтэй микрокомпьютер PID температур тохиргооны тоног SCR/SSR тохиргоо PID параметр өөрчлөх функц Программ 30 цагийн хугацаануудад зориулсан Цагаас цаг руу хурдан, эсвэл баримттай үндэслэх
Үржих хурд	1-15℃/мин
Буусаны байгууламж	Буусаны температурыг тохируулах нэгтгэлт байгууламж Буусаны хавтаст ашиглах төрөл Дунд 2 талт байдлын хуванцар, хөдөө агаарын барилгын баримт
Хаягдах чадвар	Буусаны цолын хоёр тал нь стainless steel металлийн flange болон high-temperature PTFE гангаар бэлдэг, ≤ 5pa (rotary vane vacuum pump) вакуумд ажилладаг
Атмосферийн чадвар	Flange-ийн хоёр талд ороход, гарахад дууцлагдсан агентүүдийн нэгж, давтамжийн давхаргыг metal flange дээр суурилуулж, нь эргүүлэх зорилгоор нь nitrogen, argon, hydrogen сонголтуудыг шилжүүлэх боломжтой
Вакуум систем	Нэг биполяр хөдөлгөөнт хоолой вакуум насос, дижитал вакуум метр, нүүрс төмсөөлөх хавтанга болон шаргалж буй зогсоолын эргийн үндсэн багцтай тодорхой вакуум системтэй. Системийн вакуум ≤ 5pa. Молекул насостой багц сонгох боломжтой.
Газын систем	Гурван флоу метр болон холих камерыг агуулсан тодорхой газын замын системтэй. Энэ нь тус бүрээр орж, гарах эсвэл гурван газын замаас холилсон дараа туб цувралын системд орж ирэх боломжтой. Флоу метрийн хэмжээ: 60-600мл/мин. Автоматик массын флоу метр систем сонгож авч болно. Хяналтанд ±1.5% FS. Давтамжийн хяналт ±0.2% FS. Хэмжээ: зам-1 0-100SCCM, зам-2 0-200SCCM, зам-3 0-500SCCM.
Ажиллах хамгаалалтын тоног	Ажиллах үед хэмжээнд дээш орсноор эсвэл тасарсан бол амьсгалах, ногооны цацаг үгийн бодитойг гаргаж, зөвхөн хамгааллын үйлдлийг автоматад явуулна
Хүний аюулгүй байдалтай холбоотой үйлдвэр	Тоног төхөөрөмж дээр шинжтэй газрын баталгаажсан батлуур байрладаг, ямар ч татсан эсвэл усны хувиргалтанд хамааран автоматад арга хэмжээ авна, тоног төхөөрөмжийг эсвэл ажилтнуудыг хамгаална
Зураг	Эрчимтэй алчуур бүхий томоохон төмс CNC машин төхөөрөмжийн загварлалт, хавтангуйлсан дараа полировка, фосфатлох, сүүлчийн цуглуулалт, хоолойлсон элекстатик бутархайн пластик
Стандарт тохиргоо	Бууд1; Хэмжээнд дээш орсноор бодлогын төхөөрөмж1; Эрчим хэрэглээний шугам (3м)1; Температур бодлогч1; Тайлбар бичиг1; Хөвөө1; Гарын шувуу1 пар; Холболтууд2; Хаягтай фланцын байршил*1
Сонголттой дагалдах хэрэгсэл	Гурав дахь цагдаагүй замын удирдлагын кабинетКварц контейнерРотарийн вакуум насос